ความแตกต่างระหว่าง MEMS และเซ็นเซอร์ทั่วไป

เซ็นเซอร์ MEMS ผลิตขึ้นโดยใช้เทคนิคการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การพิมพ์หินด้วยแสง การแกะสลัก และการสะสมฟิล์มบาง เทคนิคเหล่านี้ช่วยให้สามารถประดิษฐ์โครงสร้างจุลภาคที่มีความแม่นยำสูงบนเวเฟอร์ซิลิคอน และช่วยให้สามารถผลิตได้จำนวนมากด้วยต้นทุนที่ลดลง เซ็นเซอร์เมมส์ มีการบูรณาการมากขึ้น ช่วยให้สามารถรวมเซ็นเซอร์และวงจรอิเล็กทรอนิกส์หลายตัวไว้บนชิปตัวเดียว ปรับปรุงเสถียรภาพและความน่าเชื่อถือของระบบ

เซ็นเซอร์ MEMS มีชื่อเสียงในด้านการลดขนาด น้ำหนักเบา การใช้พลังงานต่ำ และความเร็วการตอบสนองสูง เนื่องจากการออกแบบให้มีขนาดเล็กลง เซ็นเซอร์ MEMS จึงสามารถรวมเข้ากับอุปกรณ์ต่างๆ ได้ง่ายขึ้น รวมถึงอุปกรณ์พกพาและอุปกรณ์สวมใส่ได้ ความแม่นยำและความเสถียรสูงของเซ็นเซอร์ MEMS ทำให้เซ็นเซอร์มีข้อได้เปรียบในการใช้งานที่มีความแม่นยำสูงหลายอย่าง เช่น การนำทางเฉื่อย ระบบความปลอดภัยของยานยนต์ และการวินิจฉัยทางการแพทย์