ความแตกต่างระหว่าง MEMS และเซ็นเซอร์ทั่วไป

เซ็นเซอร์ MEMS ผลิตขึ้นโดยใช้เทคนิคการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การพิมพ์หินด้วยแสง, การกัดและการสะสมของฟิล์มบาง. เทคนิคเหล่านี้ช่วยให้สามารถประดิษฐ์โครงสร้างจุลภาคที่มีความแม่นยำสูงบนเวเฟอร์ซิลิคอน และช่วยให้สามารถผลิตได้จำนวนมากด้วยต้นทุนที่ลดลง. เซ็นเซอร์เมมส์ มีการบูรณาการมากขึ้น, ช่วยให้สามารถรวมเซ็นเซอร์หลายตัวและวงจรอิเล็กทรอนิกส์ไว้บนชิปตัวเดียว, ปรับปรุงเสถียรภาพและความน่าเชื่อถือของระบบ.

เซ็นเซอร์ MEMS ขึ้นชื่อในเรื่องการย่อขนาด, น้ำหนักเบา, ใช้พลังงานต่ำและความเร็วในการตอบสนองสูง. เนื่องจากการออกแบบให้มีขนาดเล็กลง, เซ็นเซอร์ MEMS สามารถรวมเข้ากับอุปกรณ์ต่างๆ ได้ง่ายขึ้น, รวมถึงอุปกรณ์พกพาและอุปกรณ์สวมใส่. เซ็นเซอร์ MEMS มีความแม่นยำและความเสถียรสูง ทำให้มีข้อได้เปรียบในการใช้งานที่มีความแม่นยำสูงหลายประเภท, เช่นการนำทางเฉื่อย, ระบบความปลอดภัยของยานยนต์และการวินิจฉัยทางการแพทย์.