ความเครียดแพคเกจเซ็นเซอร์ความดัน MEMS ที่ถูกมองข้ามซึ่งทำให้ความแม่นยำของคุณลดลง
ความเค้นตกค้างที่เกิดจากบรรจุภัณฑ์เป็นสาเหตุสำคัญของการเบี่ยงเบนเป็นศูนย์ ข้อผิดพลาดของอุณหภูมิ และความไม่เสถียรในระยะยาวในเซ็นเซอร์ความดัน MEMS แบบพายโซรีซิสทีฟแบบซิลิคอน บทความนี้จะอธิบายว่าการขยายตัวทางความร้อนไม่ตรงกัน วัสดุที่ติดด้วยแม่พิมพ์ กระบวนการบ่ม และโครงสร้างบรรจุภัณฑ์ถ่ายโอนความเครียดไปยังเมมเบรนตรวจจับได้อย่างไร











