Как МЭМС-датчики давления работают при экстремальных температурах -40°C?
Принцип действия МЭМС-датчиков давления основан на пьезорезистивном эффекте кремниевых материалов. При понижении температуры до -40°С физические свойства кремниевого материала изменяются, что может привести к снижению чувствительности и точности датчика. Кроме того, экстремально низкие температуры могут вызвать изменения термического напряжения в инкапсулированном материале, влияя на стабильность датчика.
















