O estresse esquecido do pacote de sensores de pressão MEMS que prejudica sua precisão
A tensão residual induzida pelo pacote é uma fonte importante de desvio zero, erro de temperatura e instabilidade de longo prazo em sensores de pressão MEMS piezoresistivos de silício. Este artigo explica como a incompatibilidade de expansão térmica, os materiais de fixação da matriz, os processos de cura e as estruturas da embalagem transferem tensão para a membrana de detecção.











