Projeto e fabricação de sensor de pressão baseado em tecnologia MEMS
Com o avanço contínuo da ciência e da tecnologia, A tecnologia MEMS é cada vez mais utilizada em vários campos, especialmente na área de sensores. O sensor de pressão é um dos melhores campos de aplicação da tecnologia MEMS. Tem as vantagens de alta precisão, alta sensibilidade, tamanho pequeno, baixo consumo de energia, etc., e é amplamente utilizado na indústria, médico, automóvel, aviação e outros campos.