[Dispositivos MEMS] Análisis del principio de funcionamiento de sensores de gas semiconductores
Los sensores de gas semiconductores son dispositivos MEMS: las capas de óxido metálico cambian la conductividad cuando el gas reacciona a temperaturas elevadas, leídas por resistencias o circuitos FET. El diseño depende de la elección del material, el control del microcalentador, el embalaje y el acondicionamiento de la señal para equilibrar la sensibilidad, la selectividad y la estabilidad para el monitoreo en el mundo real.
















