Залишені увагою датчики тиску MEMS створюють стрес, який погіршує вашу точність
Залишкова напруга, спричинена упаковкою, є основним джерелом дрейфу нуля, температурної помилки та тривалої нестабільності в кремнієвих п’єзорезистивних датчиках тиску MEMS. У цій статті пояснюється, як невідповідність теплового розширення, матеріали для кріплення матриці, процеси затвердіння та структури упаковки передають напругу на чутливу мембрану.











