Незаметные нагрузки на корпус МЭМС-датчиков давления, снижающие точность
Остаточные напряжения, вызванные корпусом, являются основным источником дрейфа нуля, температурных ошибок и долгосрочной нестабильности в кремниевых пьезорезистивных датчиках давления MEMS. В этой статье объясняется, как несоответствие теплового расширения, материалы крепления матрицы, процессы отверждения и конструкции упаковки передают напряжение на чувствительную мембрану.











