De over het hoofd geziene MEMS-druksensoren zorgen voor stress die uw nauwkeurigheid beïnvloedt
Door pakketten veroorzaakte restspanning is een belangrijke bron van nuldrift, temperatuurfouten en langdurige instabiliteit in piëzoresistieve MEMS-druksensoren van silicium. In dit artikel wordt uitgelegd hoe thermische uitzettingsverschillen, matrijsbevestigingsmaterialen, uithardingsprocessen en verpakkingsstructuren spanning overbrengen op het sensormembraan.











