Tekanan Pakej Sensor Tekanan MEMS yang Diabaikan Yang Melayangkan Ketepatan Anda
Tegasan sisa yang disebabkan oleh pakej ialah sumber utama hanyut sifar, ralat suhu dan ketidakstabilan jangka panjang dalam penderia tekanan MEMS piezoresistif silikon. Artikel ini menerangkan cara ketidakpadanan pengembangan terma, bahan pelekat mati, proses pengawetan dan struktur pakej memindahkan tekanan ke membran penderiaan.











