Papa lima
Hoʻopili pololei ke ʻano paʻi o ka MEMS kaomi i kā lākou hana a me ka hoʻololi ʻana i ka noi. Hōʻike mua ka mākeke i ʻekolu ʻano uku o ka ʻeke: ʻaʻole i uku ʻia, uku ʻia me ka uku piha. Hoʻohana ʻia kēlā me kēia ʻano pahu i nā ʻano hana hōʻailona like ʻole e hoʻoponopono i nā pilikia drift a me nā pilikia nonlinearity. Hāʻawi ka ʻeke i uku ʻole ʻia i ke kumu kūʻai haʻahaʻa akā pono ka calibration o waho, hana maikaʻi nā ʻano i uku ʻia i loko o nā lumi wela, ʻoiai ʻo nā ʻano i uku ʻia e loaʻa i ka uku kūpono ma nā pae wela ākea ma o nā chip ASIC i hoʻohui ʻia. He mea koʻikoʻi ka hoʻomaopopo ʻana i nā ʻano ʻenehana o kēia mau ʻano hoʻopihapiha ʻekolu no ka poʻe ʻenekinia e koho i nā hopena sensor kūpono.
1. ʻAʻole i uku ʻia ka MEMS Pressure Sensor Packaging
Nā hiʻohiʻona o ka pūʻolo kumu
Hōʻike ʻia nā mea ʻike puʻupuʻu i uku ʻole ʻia i ke ʻano hoʻopihapiha maʻamau, me ka chip silicon MEMS i ko lākou kumu. Ke hoʻohana nei kēia ʻano paʻi i nā palapala pūʻolo SOP6, DIP6, a i ʻole U6 maʻamau, aia wale nō ka puʻupuʻu MEMS i loko o ka puʻupuʻu me ka ʻole o nā kaapuni hoʻohuihui hōʻailona. He ʻokoʻa ka hoʻopuka ʻana o kēlā me kēia chip, ʻo ia hoʻi nā mea ʻike mai ka pūʻulu hana like e loaʻa i nā ʻano huahana like ʻole. Pono nā sensor i loko o kēia ʻano hoʻopihapiha i nā kaapuni o waho no ka hoʻonui ʻana i ka hōʻailona a me ka hoʻoponopono ʻana.
Nā hiʻohiʻona hoʻopuka a me nā koi calibration
Hoʻopuka pololei nā mea ʻike puʻupuʻu i uku ʻole ʻia i nā hōʻailona maka mai ka chip MEMS, ka mea maʻamau ka nui o ka offset a me ka hilinaʻi wela. Me ka ʻole o nā mīkini uku i kūkulu ʻia, pono kēlā me kēia sensor i nā kaʻina hana calibration e hoʻoholo i nā hiʻohiʻona kūpono. Pono nā ʻenekinia e hoʻohui i nā mea hoʻonui o waho, nā kānana, a me nā kaʻina calibration i nā kaʻa noi no ka loaʻa ʻana o nā hōʻailona hoʻohana. ʻOiai ke hoʻonui nei kēia ala i ka paʻakikī o ka ʻōnaehana, hāʻawi ia i nā mea hoʻohana me ka hiki ke hoʻolālā kiʻekiʻe.
ʻO ka loiloi uku uku
Mai kahi hiʻohiʻona kumu kūʻai, loaʻa nā pōmaikaʻi ʻole i uku ʻia. Hoʻemi nui ʻia nā kumukūʻai hana ma ka hoʻopau ʻana i nā kaʻa kaʻa hana hōʻailona i kūkulu ʻia. Eia nō naʻe, pono e kaupaona ʻia kēia kumukūʻai ma ka pae ʻōnaehana, no ka mea pono nā mea hoʻohana e hoʻolilo i ka manawa hou a me nā kumuwaiwai i ka hoʻolālā ʻana i nā kaʻa kaʻa o waho. No nā noi kiʻekiʻe a i ʻole nā papahana pili loa i ke kumu kūʻai, ʻo ka hoʻopaʻa ʻana ʻole i uku ʻia he koho kūpono loa.
2. Pākuʻi Passively MEMS Pressure Sensor Packaging
Mechanism Uku Mahanahana
ʻO ka hoʻopihapiha hoʻopaʻi ʻia ʻo Passively he hopena i hoʻopaʻa ʻia no nā noi wela lumi, kūpono loa no ka hoʻohana ʻana i loko o 10°C a 40°C nā pae wela hana. Hoʻohui kēia ʻano paʻi i nā kaʻa kaʻa uku passive maʻalahi e pili ana i ka chip MEMS, me ka hoʻohana ʻana i nā pūnaewele resistor a i ʻole nā ʻāpana passive ʻē aʻe e pale aku i nā hopena wela ma ka hopena sensor. ʻOiai ʻoi aku ka liʻiliʻi o nā mīkini uku passive ma mua o ka uku hana, hiki iā lākou ke hāʻawi i ka hōʻoia pololei i loko o nā pae wela palena.
Hiki ke hoʻololi i ke kūlana hoʻohana
ʻO ka puʻupuʻu i uku ʻia ʻo Passively e hoʻopaʻa mua i nā kaiapuni o loko a i ʻole nā noi me nā loli mahana paʻa. I loko o kēia mau kaiapuni, liʻiliʻi ka piʻi ʻana o ka mahana, a hiki i ka uku passive ke hōʻemi pono i ka hopena o ka neʻe ʻana o ka mahana ma ke ana pololei. Hana maikaʻi kēia ʻano paʻi i loko o nā kaʻa kaʻa, nā mea hana hale, nā lako keʻena, a me nā noi like, e pale ana i nā pilikia calibration paʻakikī o nā ʻano uku ʻole ʻoiai e pale ana i nā kumukūʻai kiʻekiʻe o nā ʻano uku piha.
Nā Manaʻo Kaulike Hana
Loaʻa i ka ʻeke hoʻopaʻi passively ke kaulike maikaʻi ma waena o ka hana a me ke kumukūʻai. ʻOiai ua kaupalena ʻia kona ʻano pānaʻi wela, hiki iā ia ke hāʻawi i ka hopena paʻa a hilinaʻi i loko o nā pae hana i kuhikuhi ʻia. No nā noi ʻaʻole koi ʻia ka hana ma lalo o nā kūlana wela loa, hāʻawi ʻia ka pāpaʻi passively compensated i kahi koho waena kūpono, e hoʻomaʻamaʻa ana i ka hoʻolālā ʻōnaehana ʻoiai e kāohi ana i nā kumukūʻai holoʻokoʻa.
3. Hoʻopau piha i ka MEMS Pressure Sensor Packaging
ʻenehana hoʻohui ASIC
Hōʻike ʻia ka pahu hoʻopaʻi piha ʻana i ka pae kiʻekiʻe o ka ʻenehana ʻenekini puʻe MEMS o kēia manawa. Hoʻopili ʻia kēia pūʻulu i loko i nā ʻāpana pili i ke kaomi MEMS a me nā ʻāpana ASIC i hoʻolaʻa ʻia, me ka hoʻohana ʻana i ka ʻenehana hoʻoili hōʻailona kikohoʻe e hoʻopaʻi piha i ka offset, sensitivity, heat drift, a me ka nonlinearity o nā chips-sensitive chips. Hoʻohana ka ASIC chip i ka volta hāʻawi ma ke ʻano he kuhikuhi, e hana ana i nā hōʻailona uila maʻamau i calibrated a me ka mahana-uku me ka linearity maikaʻi loa a me ke kūpaʻa wela.
Ka Hoʻokō ʻana i nā ʻano wela ākea
Hiki ke hoʻopaʻa ʻia ka pahu hoʻopaʻi piha ʻana i ka hopena kiʻekiʻe ma waena o -40°C a hiki i 85°C a i ʻole nā pae wela ākea. I loko o ia mau laula wela ākea, nā mea ʻike’ hiki ke hoʻomalu ʻia ka hui hewa holoʻokoʻa i loko o ±1% o ka hoʻopuka piha piha, ʻoi aku ka maikaʻi ma mua o ka pāpaʻi uku ʻole a uku ʻole ʻia. Hana kēia hana i ka hoʻopihapiha hoʻopiha piha i kūpono no ka aerospace, automation ʻoihana, hoʻokele engine automotive, a me nā noi ʻē aʻe e koi ana i ka pololei kiʻekiʻe.
Ka Mana Mana a me ke 'ano o ka Interface
Hoʻohana maʻamau nā mea ʻike puʻe MEMS i uku ʻia i ka 3.3V a i ka 5.5V ākea ākea me ka hiki ke hoʻololi i ka mana. Nui nā huahana e hōʻike ana i nā hale nozzle pneumatic anti-slip, e hoʻomaikaʻi ana i ka hilinaʻi pili mechanical. Hoʻomaʻamaʻa ʻia nā kaʻina hana hoʻohui ʻōnaehana maʻamau, e ʻae ana i nā ʻenekini e hoʻopili pololei i nā mea ʻike i nā mea hoʻololi analog-to-digital a i ʻole microcontrollers me ka ʻole o nā kaʻa kaʻa kaʻa hōʻailona.
4. Nā Pōmaikaʻi Hana a me ka Hoʻohālikelike Hoʻololi
Nā Mea Hana Pono a me nā Hana
ʻO ka loiloi ʻana i ka hoʻokō ʻana o ka puʻupuʻu sensor e pono ai nā lako hoʻāʻo ʻoihana. Hoʻohana maʻamau ke ana ʻana i ka pololei o ke kaomi kiʻekiʻe e like me ka WF100S series SOP series pressure calibrators, e hāʻawi ana i ka 0.02% piha piha pololei. Pono ka ho'āʻo hoʻokō pānaʻi ʻana i nā keʻena hoʻāʻo kaiapuni e like me WF100DP a i ʻole nā huahana WF100E, hiki ke hoʻokele pololei i nā mahana mai -55°C a 125°C. Pono ka ho'āʻo hoʻoholo i nā ʻōnaehana loaʻa ʻikepili kiʻekiʻe e like me nā multimeters kikohoʻe a i ʻole module loaʻa ʻikepili.
Nā Kūlana Hoʻonaʻauao Kūʻai Kūʻai
Ke koho ʻana i nā mea hoʻolako sensor pressure, e nānā i ka loiloi ʻana i ka mana palapala calibration a me ka hoʻāʻo ʻana i ka ʻikepili piha. Pono nā mea hoʻolako maikaʻi e hāʻawi i nā palapala hōʻoia ʻo NIST-traceable calibration me nā ʻāpana kikoʻī e like me nā coefficient mahana, nā hewa nonlinearity, a me ka paʻa lōʻihi. Pono nā mea hoʻolako e loaʻa i ka ISO 9001 Quality Management System palapala hōʻoia a hāʻawi i nā palapala hoʻomalu kaʻina hana kikoʻī. No nā huahana i uku piha ʻia, pono nā mea hoʻolako i ka hoʻolālā ASIC a me nā mana hana a i ʻole e hoʻokumu i nā pilina paʻa me nā mea hana ASIC kaulana.
Nā Kuʻuna Kūlike Kaiapuni
ʻO ke koho ʻana i nā ʻano ʻōpala kūpono e pono ai ka noʻonoʻo piha ʻana i nā pae wela o ke kaiapuni noi, nā koi pololei, nā kumukūʻai kumukūʻai, a me nā pōʻai hoʻomohala. No nā noi me nā hoʻololi wela nui a i ʻole nā wela kiʻekiʻe / haʻahaʻa loa, ʻo ka hōʻaiʻē uku piha ke koho kūpono wale nō. Hiki i nā noi wela lumi ke noʻonoʻo i ka hoʻopaʻa ʻana i uku ʻia, e hōʻoia i ka hana maʻamau i ka wā e kāohi ana i nā kumukūʻai. No nā noi koʻikoʻi koʻikoʻi i hiki ke hoʻopaʻa ʻia ma hope o ka calibration, loaʻa nō i ka ʻeke i uku ʻole ʻia nā pono hoʻokūkū.
5. Nā Kūlana Hoʻomohala ʻenehana a me nā Manaʻo Koho
Pūʻulu ʻenehana Evolution Direction
Ke neʻe nei ka ʻenehana ʻenehana puʻupuʻu kaomi MEMS i kēia manawa i ka hoʻohui kiʻekiʻe a me ka naʻauao ʻoi aku. Hoʻomaka ka hoʻopili piha ʻana o ka hanauna hou i ka hoʻohui ʻana i nā hana pili kikohoʻe e like me I2C a i ʻole SPI nā protocol kamaʻilio, e hoʻomaʻamaʻa hou i ka hoʻohui ʻana i ka ʻōnaehana. I ka manawa like, hoʻomau ka emi ʻana o ka nui o ka puʻupuʻu i ka wā e hoʻonui ai ka hoʻohana ʻana i ka mana, e hāʻawi ana i nā hopena maikaʻi aʻe no nā noi portable a me IoT. Hoʻokomo pū ʻia ka ʻenehana hoʻopihapiha kiʻekiʻe i nā hana diagnostic ponoʻī, hiki i ka nānā ʻana i ke kūlana sensor manawa maoli a me ka hōʻike anomaly.
Ke Kaʻina Hoʻoholo Koho
Pono nā ʻenekinia e hoʻokumu i nā ʻōnaehana hoʻoholo hoʻoholo i ke koho ʻana i nā ʻano puʻupuʻu sensor sensor. ʻO ka mea mua, e loiloi i nā koi ʻenehana noiʻi e pili ana i ka pae kaomi, ka pae pololei, ka pae wela hana, a me ka manawa pane. A laila e noʻonoʻo i nā kaohi o ka papahana e like me ke kumukūʻai kumukūʻai, ka pōʻai hoʻomohala, ka nui o ka hana, a me nā kūlana maikaʻi. ʻO ka mea hope loa, e nānā i nā mea kaulahao lako e pili ana i ka ikaika ʻenehana mea kūʻai aku, ka loaʻa ʻana o ka huahana, ka pae kākoʻo ʻenehana, a me ka hōʻoia hoʻolako lōʻihi.
Ka Mana Mana a me ka Hooiaio
Ma waho o ke koho ʻana i ke ʻano o ka packaging, pono ka mana o ka maikaʻi a me nā kaʻina hōʻoia. No ka hoʻopili ʻole ʻia, pono e hoʻolālā ʻia nā kaʻina hana calibration a me nā kaʻina hana hoʻokolohua. Pono ka hōʻoia ʻana o ke kūpaʻa hana i loko o nā pae wela i ʻōlelo ʻia. ʻOiai e hiki mai ana ka pahu hoʻopaʻi piha i ka hale hana-calibrated, pono mau ka hōʻoia hōʻoia a me ka nānā ʻana i ka hana maʻamau e hōʻoia i ka maikaʻi o ka huahana i nā koi noi.
Hopena
ʻEkolu mau ʻano puʻupuʻu puʻupuʻu MEMS kaomi maʻamau i kēlā me kēia me nā hiʻohiʻona ʻenehana ʻokoʻa a me nā hiʻohiʻona pili. Hoʻopili ʻia ka ʻeke i uku ʻole ʻia i nā noi kiʻekiʻe koʻikoʻi me ka uku haʻahaʻa akā koi i nā mea hoʻohana e hoʻolilo i nā hana calibration hou. Hāʻawi ka pāpaʻi hoʻopaʻi paʻa i ke koena hana-kumukūʻai maikaʻi i nā kaiapuni wela o ka lumi, kūpono no nā noi me nā loli wela paʻa. Loaʻa ka ʻeke i uku piha ʻia i ka pae hana kiʻekiʻe ma o nā chips ASIC i hoʻohui ʻia, e mālama ana i ka pololei a me ke kūpaʻa maikaʻi ma waena o nā pae wela ākea, e lilo ia i mea hoʻonā makemake no nā noi kiʻekiʻe. Pono nā ʻenekinia e noʻonoʻo pono i nā pono noi kikoʻī, nā koi ʻenehana, a me nā kumukūʻai kumukūʻai i ke koho ʻana, ke koho ʻana i ke ʻano hoʻopihapiha kūpono. Ke hoʻomau nei ka hoʻomohala ʻana o ka ʻenehana MEMS, e ulu aʻe ka puʻupuʻu sensor sensor i ka hoʻohui kiʻekiʻe a me ka naʻauao ʻoi aku ka nui, e hāʻawi ana i nā hopena maikaʻi loa no nā noi ʻoihana like ʻole.
ʻO ka mea i hōʻikeʻia ma luna nei e hōʻike wale ana i kaʻili o nā noi o kaʻenehanaʻo Sensor Sensor. E hoʻomau mau mākou i nāʻano likeʻole o nāʻano sensor i hoʻohanaʻia ma nā huahana likeʻole, pehea lākou e hana ai, a me kā lākou hanaʻana. Inā makemakeʻoe eʻoi aku ka nui o nā kiko'ī ma ka mea i kamaʻilioʻia ma aneʻi, hiki iāʻoe ke nānā i nāʻike pili ma hope o kēia alakaʻi. Ināʻoe e kaomi no ka manawa, hiki iāʻoe ke kaomi ma aneʻi e hoʻoiho i nā kiko'ī o kēia mau alakaʻi ʻO kaʻikepili o ka ea eʻike ai i kaʻikepili PDF. ^.
No nāʻike hou aku ma nāʻenehana loea'ē aʻe, eʻoluʻolu E kipa i kā mākouʻaoʻaoʻike. ^.