ʻO ka MEMS Pressure Sensors Package Stress i ʻike ʻole ʻia e hoʻoheheʻe i kou pololei
ʻO ke koʻikoʻi koʻikoʻi i hoʻokomo ʻia i loko o ka pūʻulu he kumu nui ia o ka zero drift, ka hewa wela, a me ka paʻa ʻole o ka wā lōʻihi i loko o ka silicon piezoresistive MEMS pressure sensors. Hōʻike kēia ʻatikala i ka hoʻololi ʻana o ka thermal-expansion mismatch, nā mea hoʻopili make, nā kaʻina hana hoʻōla, a me nā hale pūʻolo e hoʻoneʻe i ke koʻikoʻi i ka membrane sensing.











