Unohdetut MEMS-paineanturit sisältävät jännitystä, joka muuttaa tarkkuuttasi
Pakkauksen aiheuttama jäännösjännitys on suurin piipietsoresistiivisten MEMS-paineantureiden nollapoikkeaman, lämpötilavirheen ja pitkäaikaisen epävakauden lähde. Tässä artikkelissa kerrotaan, kuinka lämpölaajenemishäiriö, stanssausmateriaalit, kovetusprosessit ja pakkausrakenteet siirtävät jännitystä anturikalvoon.











