De oversett MEMS-trykksensorene pakker stress som driver din nøyaktighet
Pakkeindusert restspenning er en viktig kilde til nulldrift, temperaturfeil og langvarig ustabilitet i piezoresistive MEMS-trykksensorer av silisium. Denne artikkelen forklarer hvordan termisk ekspansjonsmistilpasning, matrisfestede materialer, herdeprosesser og pakkestrukturer overfører stress til følermembranen.











