Paket Sensor Tekanan MEMS yang Diabaikan Stres yang Meningkatkan Akurasi Anda
Tegangan sisa yang diinduksi paket adalah sumber utama penyimpangan nol, kesalahan suhu, dan ketidakstabilan jangka panjang pada sensor tekanan MEMS piezoresistif silikon. Artikel ini menjelaskan bagaimana ketidaksesuaian ekspansi termal, material die-attach, proses pengawetan, dan struktur paket mentransfer tekanan ke membran penginderaan.











