अस्थायी मुआवजा माइक्रो प्रेशर सेंसर - उच्च सटीकता और स्थिरता प्राप्त करें
यह टुकड़ा एक द्वीप-बीम-झिल्ली युग्मित डिज़ाइन पर आधारित तापमान-स्व-क्षतिपूर्ति एमईएमएस माइक्रो-प्रेशर सेंसर को देखता है, और बताता है कि संरचना थर्मल तनाव के कारण होने वाले आउटपुट बहाव को कैसे सक्रिय रूप से रद्द करती है। SOI और डुअल-DRIE परिशुद्धता प्रसंस्करण के साथ बनाया गया, डिवाइस 0°C-50°C (शून्य-बिंदु बहाव 0.081%FS, पूर्ण-सीमा बहाव 0.090%FS, गैर-रैखिकता 0.307%FS) में बहुत कम तापमान बहाव दिखाता है, जो उच्च-सटीकता, कम-शक्ति सूक्ष्म-दबाव का पता लगाने का विकल्प प्रदान करता है।



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