Přehlédnutý balíček tlakových senzorů MEMS Stres, který posune vaši přesnost
Zbytkové napětí vyvolané obalem je hlavním zdrojem nulového driftu, teplotní chyby a dlouhodobé nestability u křemíkových piezorezistivních tlakových senzorů MEMS. Tento článek vysvětluje, jak nesoulad tepelné roztažnosti, materiály pro připojení matrice, procesy vytvrzování a struktury obalu přenášejí napětí na snímací membránu.











