مجموعة أجهزة استشعار الضغط MEMS التي تم تجاهلها والتي تؤثر على دقتك
يعد الإجهاد المتبقي الناجم عن الحزمة مصدرًا رئيسيًا لانجراف صفري وخطأ في درجة الحرارة وعدم الاستقرار على المدى الطويل في مستشعرات ضغط MEMS المصنوعة من السيليكون. تشرح هذه المقالة كيف يؤدي عدم تطابق التمدد الحراري والمواد الملتصقة بالقالب وعمليات المعالجة وهياكل التغليف إلى نقل الضغط إلى غشاء الاستشعار.











