Design und Herstellung von Drucksensoren basierend auf MEMS-Technologie
Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung von Wissenschaft und Technologie, Die MEMS -Technologie wird zunehmend in verschiedenen Bereichen eingesetzt, vor allem im Bereich der Sensoren. Drucksensor ist eines der besten Anwendungsfelder der MEMS -Technologie. Es hat die Vorteile von hoher Präzision, hohe Empfindlichkeit, kleine Größe, geringer Stromverbrauch, usw., und wird in der Industrie häufig eingesetzt, medizinisch, Automobil, Luftfahrt und andere Felder.