Design og fremstilling af tryksensor baseret på MEMS teknologi
Med den fortsatte udvikling af videnskab og teknologi, MEMS-teknologi bruges i stigende grad på forskellige områder, især inden for sensorer. Tryksensor er et af de bedste anvendelsesområder inden for MEMS-teknologi. Det har fordelene ved høj præcision, høj følsomhed, lille størrelse, lavt strømforbrug, osv., og er meget brugt i industrien, medicinsk, automobil, luftfart og andre områder.