Пакет датчыкаў ціску MEMS, на які не звяртаюць увагі, выклікае стрэс, які зніжае вашу дакладнасць
Выкліканае пакаваннем рэшткавае напружанне з'яўляецца асноўнай крыніцай дрэйфу нуля, тэмпературнай памылкі і доўгатэрміновай нестабільнасці крамянёвых п'езарэзістыўных датчыкаў ціску MEMS. У гэтым артыкуле тлумачыцца, як неадпаведнасць цеплавога пашырэння, матэрыялы для мацавання, працэсы зацвярдзення і структуры ўпакоўкі перадаюць нагрузку на адчувальную мембрану.











