Sıcaklık Dengeleme Mikro Basınç Sensörü — Yüksek Doğruluk ve Kararlılık Elde Edin
Bu parça, ada-kiriş-membran bağlantılı tasarıma dayanan, kendi kendini dengeleyen sıcaklık MEMS mikro basınç sensörünü inceliyor ve yapının, termal stresin neden olduğu çıkış sapmasını aktif olarak nasıl iptal ettiğini açıklıyor. SOI ve çift DRIE hassas işlemeyle üretilen cihaz, 0°C ila 50°C arasında çok düşük sıcaklık sapması gösterir (sıfır noktası kayması %0,081 FS, tam aralık kayması %0,090 FS, doğrusal olmayanlık %0,307 FS), yüksek doğruluklu, düşük güçlü bir mikro basınç algılama seçeneği sunar.



-e1747998312687.jpg)










