De förbisedda MEMS-trycksensorerna paketerar stress som driver din noggrannhet
Paketinducerad restspänning är en viktig källa till nolldrift, temperaturfel och långvarig instabilitet i piezoresistiva MEMS-trycksensorer av kisel. Den här artikeln förklarar hur värmeexpansionsfelmatchning, formfastsättningsmaterial, härdningsprocesser och förpackningsstrukturer överför stress till avkänningsmembranet.











