Превиђени МЕМС сензори притиска Стрес који нарушава вашу прецизност
Заостали напон изазван пакетом је главни извор помака нуле, температурне грешке и дуготрајне нестабилности у силицијумским пиезорезистивним МЕМС сензорима притиска. Овај чланак објашњава како неусклађеност термичког ширења, материјали који се причвршћују у калупе, процеси очвршћавања и структуре паковања преносе напон на мембрану за сензор.











