Sensor de pressão de chip duplo – Solução para pressão ultrabaixa e desvio de longo prazo
Sensores de pressão de chip duplo resolvem desvios de pressão ultrabaixa emparelhando duas matrizes MEMS e usando acoplamento cruzado elétrico e pneumático. Essa abordagem aumenta a estabilidade, melhora a linearidade e reduz o desvio zero de longo prazo para módulos sensores de pressão de alta precisão.




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