ыкйыбЭ
ьХХыае ьД╝ьДЬ ьЖМъ░Ь
ьХХыае ьД╝ьДЬыКФ ыЛдьЦСэХЬ ьВ░ьЧЕьЧРьДЬ ьдСьЪФэХЬ ъ╡мьД▒ ьЪФьЖМьЮЕыЛИыЛд, ьЮРыПЩь░и эПмэХи, ьВ░ьЧЕ ьЮРыПЩэЩФ, ьЖМы╣ДьЮР ьаЬэТИ, ьЭШыгМ ъ╕░ъ╕░. ъ╕АыбЬы▓М ьХХыае ьД╝ьДЬ ьЛЬьЮеьЭА ъ▒░ьЭШ ыПДыЛм эХа ъ▓ГьЬ╝ыбЬ ьШИьГБыРйыЛИыЛд. $24.5 10 ьЦ╡ьЬ╝ыбЬ 2028, эШДыМА ъ╕░ьИаьЧРьДЬьЭШ ьжЭъ░Аые╝ ы░ШьШБэХйыЛИыЛд1. ьХХыае ьД╝ьДЬыКФ ьШБьЧньЧР ьаБьЪйыРШыКФ эЮШьЭШ ьЫРыжмьЧР ыФ░ыЭ╝ ьЮСыПЩэХйыЛИыЛд., ьЭСьЪй эФДыбЬъ╖╕ыЮиъ│╝ ъ╕░ыКеьЭД ьЭ┤эХ┤эХШыКФ ыН░ эХДьИШьаБьЮЕыЛИыЛд.
MEMS ъ╕░ьИа ьЭ┤эХ┤
MEMS (ызИьЭ┤эБмыбЬ ьаДъ╕░ ъ╕░ъ│Д ьЛЬьКдэЕЬ) ъ╕░ьИаьЭА ьХХыае ьД╝ьДЬ ъ░Ьы░ЬьЧР ьдСь╢ФьаБьЮЕыЛИыЛд. MEMS ьД╝ьДЬыКФ эГДьД▒ ьЛдыжмь╜Ш ыЛдьЭ┤ьЦ┤эФДыЮиьЭД эК╣ьзХьЬ╝ыбЬэХйыЛИыЛд, эК╣ьД▒ьЭД ы│Аъ▓╜эХШьзА ьХКъ│а ы░Шы│╡ьаБ ьЭ╕ ьХХыае ьВмьЭ┤эБ┤ызБьЭДы░ЫьЭД ьИШ ьЮИьК╡ыЛИыЛд.. ьЭ┤ эГДыаеьД▒ьЭА эЮИьКдэЕМыжмьЛЬьКдьЩА эБмыжмэФДые╝ ь╡ЬьЖМэЩФэХиьЧР ыФ░ыЭ╝ ьЬаьЭ╡эХйыЛИыЛд., ыЛдые╕ ьД╝ьДЬ ьЬаэШХьЭШ ьЭ╝ы░ШьаБьЭ╕ ым╕ьаЬ
MEMSьЭШ ьЮеьаР
ы╣ДьЪй эЪиьЬиьД▒: ыЛиьЭ╝ ьЫиьЭ┤эН╝ьЧРьДЬ ьИШь▓Ь ъ░ЬьЭШ ьД╝ьДЬые╝ ьГЭьВ░эХа ьИШ ьЮИьК╡ыЛИыЛд., ы╣ДьЪйьЭД эБмъ▓М ьдДьЮЕыЛИыЛд.
ьДдъ│Д ьЬаьЧ░ьД▒: ьВмыВ┤ ьЫиьЭ┤эН╝ эМ╣ьЭ┤ ьЮИьЬ╝ый┤ ъ│╡ъ╕ЙызЭ ы░П ьДдъ│Д ьВмьЪйьЮР ьаХьЭШые╝ы│┤ыЛд ьЮШ ьаЬьЦ┤ эХа ьИШ ьЮИьК╡ыЛИыЛд..
ьЛаыв░эХа ьИШ ьЮИьЭМ: MEMS ьД╝ьДЬьЧРыКФ эЮИьКдэЕМыжмьЛЬьКдьЩА эБмыжмэФДъ░А ьЧЖьК╡ыЛИыЛд, ьЛЬъ░ДьЭ┤ ьзАыВиьЧР ыФ░ыЭ╝ ьЭ╝ъ┤АыРЬ ьД▒ыКеьЭД ы│┤ьЮеэХйыЛИыЛд
ьХХъ▓╜ьД▒ ыМА. ьХХьаД ьД╝ьДЬ
ьХХьаДьД▒ ьД╝ьДЬ
ьХХыаеьЧР ьШБэЦеьЭДы░ЫьЭД ыХМ ьаДъ╕░ ьаАэХньЭШ ы│АэЩФые╝ ь╕бьаХэХШьЧм ьХХыПДьаБ ьД╝ьДЬъ░А ьЮСыПЩэХйыЛИыЛд.. ъ╖╕ыУдьЭА ы░Шы│╡ьД▒ъ│╝ ыЛдьЦСьД▒ьЬ╝ыбЬ ьЬаыкЕэХйыЛИыЛд, ыЛдьЦСэХЬ ьЭСьЪй эФДыбЬъ╖╕ыЮиьЧР ьаБэХйэХйыЛИыЛд, эШИъ┤А ьД▒эШХьИаъ│╝ ъ░ЩьЭА ьЭШыгМ ьаИь░иые╝ эПмэХиэХйыЛИыЛд
ьХХьаД ьД╝ьДЬ
ьХХьаД ьД╝ьДЬыКФ ъ╕░ъ│ДьаБ ьЭСыаеьЧР ы░ШьЭСэХШьЧм ьаДэХШые╝ ьГЭьД▒эХйыЛИыЛд.. ъ╖╕ыУдьЭА ьЭ╝ы░ШьаБьЬ╝ыбЬ ьзДыПЩ ы░П эЮШьЧР ыМАэХЬ ыЖТьЭА ып╝ъ░РыПДые╝ ьЪФъ╡мэХШыКФ ьЭСьЪй ы╢ДьХ╝ьЧРьДЬ ьВмьЪйыРйыЛИыЛд., ъ░АьЖНыПДъ│Д ы░П эХШьдС ьД╝ьДЬьЩА ъ░ЩьЭА
ьХХъ▓╜ьД▒ ыМАьЧР ыМАэХЬ ыНФ ызОьЭА ьзАь╣иьЭД ьЬДэХ┤. ьХХьаД ьД╝ьДЬ, ьЭ┤ ъ╕░ьВм ызБэБмые╝ эЩХьЭ╕эХШьЛньЛЬьШдя╝Ъhttps://wfsensors.com/blog/use-and-function-of-mems-piezoresistive-pressure-sensorscomprehensive-guide.html/
ьХХыае ьД╝ьДЬьЭШ ьЭСьЪй
ьХХыае ьД╝ьДЬыКФ ьЧмыЯм ьВ░ьЧЕьЧРьДЬ ьВмьЪйыРйыЛИыЛд:
ьЮРыПЩь░и: ьЧФьзД ъ┤Аыжм ы░П ьХИьаД ьЛЬьКдэЕЬ ьЪй.
ыЛдьЭ┤ы╣Щ: ъ╣КьЭ┤ые╝ ыкиыЛИэД░ызБэХШъ│а ьХИьаДэХЬ ьГБьК╣ ы░П эХШъ░Х ьЛЬъ░ДьЭД ы│┤ьЮеэХйыЛИыЛд..
ьаДьЮР ьЮРьаДъ▒░: ьД▒ыКеьЭД эЦеьГБьЛЬэВдъ╕░ ьЬДэХ┤ ь╢йъ▓йъ│╝ эГАьЭ┤ьЦ┤ьЧР эЖ╡эХйыРйыЛИыЛд.
ьЭШыгМ: эТНьДа ьЭ╕эФМыаИьЭ┤ьЕШьЭД ыкиыЛИэД░ызБэХШъ╕░ьЬДэХЬ эШИъ┤А ьД▒эШХьИаъ│╝ ъ░ЩьЭА ьаИь░иьЧРьДЬ
MEMS ьХХыае ьД╝ьДЬ: ьДдъ│Д ы░П ъ╕░ыКе
ьаИыМА ьД╝ьДЬ: ьзДъ│╡ ь░╕ьб░ьЧР ыМАэХЬ ьХХыаеьЭД ь╕бьаХэХШьЛньЛЬьШд.
ъ▓МьЭ┤ьзА ьД╝ьДЬ: ыМАъ╕░ьХХьЧР ыМАэХЬ ьХХыаеьЭД ь╕бьаХэХШьЛньЛЬьШд
MEMS ьХХыае ьД╝ьДЬьЭШ ьЬаэШХ
MEMS ьХХыае ьД╝ьДЬыКФ ьЛдыжмь╜Ш ыЛдьЭ┤ьЦ┤эФДыЮиьЬ╝ыбЬ эЩХьВ░ ыРЬ Wheatstone Bridgeые╝ эК╣ьзХьЬ╝ыбЬэХйыЛИыЛд.. ьЭ┤ ы╕МыжмьзАьЭШ ь╢Ьыае ы│Аъ▓╜ьЭА ьаБьЪйыРЬ ьХХыаеьЭШ ы│АэЩФьЧР тАЛтАЛэХ┤ыЛ╣эХйыЛИыЛд.. ыЛдьЭ┤ьЦ┤эФДыЮиьЭШ ыСРъ╗ШыКФ эХДьЪФэХЬ ьХХыае ы▓ФьЬДьЧР ыФ░ыЭ╝ ьб░ьаХыРйыЛИыЛд.
ьХХыае ьД╝ьДЬ ьаХэЩХыПДьЧР ьШБэЦеьЭД ып╕ь╣ШыКФ ьЪФьЭ╕
ьХХыае ьД╝ьДЬьЭШ ьаХэЩХыПДыКФ ьдСьЪФэХйыЛИыЛд, эК╣эЮИ ьаХэЩХэХЬ ь╕бьаХьЭ┤ эХДьЪФэХЬ ьЭСьЪй ы╢ДьХ╝ьЧРьДЬ. ьаХэЩХыПДьЧР ьШБэЦеьЭД ып╕ь╣ШыКФ ьЪФьЭ╕ьЧРыКФ эПмэХиыРйыЛИыЛд:
ьШиыПД: ьШиыПДьЭШ ы│АэЩФыКФ ьД╝ьДЬ ъ░РыПДьЩА ьаАэХньЧР ьШБэЦеьЭД ьдД ьИШ ьЮИьК╡ыЛИыЛд.
ьКдэК╕ыаИьКд: эПмьЮе ьдСьЧР ьЩ╕ы╢А ьЭСыаеьЭА ьЛЬъ░ДьЭ┤ ьзАыВиьЧР ыФ░ыЭ╝ ьД╝ьДЬ ьД▒ыКеьЧР ьШБэЦеьЭД ьдД ьИШ ьЮИьК╡ыЛИыЛд.
ьаХэЩХыПДые╝ ыЛмьД▒эХйыЛИыЛд
ъ╡мъ▓╜ ь╕бьаХ: ьаХэЩХьД▒ьЭД ы│┤ьЮеэХШыКФ ыН░ эХДьИШьаБьЮЕыЛИыЛд.
ы│┤ьГБ ьД╝ьДЬ: ASICые╝ ьВмьЪйэХШьЧм ъ╡РьаХьЭД ыЛиьИЬэЩФэХШъ│а ьаХэЩХыПДые╝ эЦеьГБьЛЬэВ╡ыЛИыЛд
ьШмы░Фые╕ ьХХыае ьД╝ьДЬые╝ ьДаэГЭэХйыЛИыЛд
ьХХыае ьД╝ьДЬые╝ ьДаэГЭэХа ыХМ, ыЛдьЭМ ьЪФьЖМые╝ ъ│аыадэХШьЛньЛЬьШд:
ьХХыае ы▓ФьЬД: ьД╝ьДЬъ░А эХДьЪФэХЬ ьХХыае ы▓ФьЬДые╝ ь▓Шыжм эХа ьИШ тАЛтАЛьЮИыКФьзА эЩХьЭ╕эХШьЛньЛЬьШд.
эЩШъ▓╜ ьб░ъ▒┤: ьШиыПДые╝ ъ│аыадэХШьЛньЛЬьШд, ьК╡ъ╕░, ъ╖╕ыжмъ│а ьЮаьЮмьаБ ьЭ╕ ьКдэК╕ыаИьКд ьЪФьЭ╕.
ьЭСьЪй эФДыбЬъ╖╕ыЮи ьЬаэШХ: ьаИыМАьЭ╕ьзА эЩХьЭ╕эХШьЛньЛЬьШд, ъ│ДыЯЙъ╕░, ыШРыКФ ь░иыПЩ ьД╝ьДЬъ░А эХДьЪФэХйыЛИыЛд
ъ▓░ыба
ьХХыае ьД╝ьДЬ, эК╣эЮИ MEMS ъ╕░ьИаьЭД эЩЬьЪйэХШыКФ ьВмыЮМыУд, эШДыМА ьВ░ьЧЕьЧРьДЬ ьдСьЪФэХЬ ьЧнэХаьЭДэХйыЛИыЛд. ьХХьаДьД▒ ы░П ьХХьаД ьД╝ьДЬьЭШ ь░иьЭ┤ьаРьЭД ьЭ┤эХ┤эХйыЛИыЛд, MEMS ьД╝ьДЬьЭШ ьДдъ│Д ы░П ъ╕░ыКеы┐РызМ ьХДыЛИыЭ╝, эК╣ьаХ ьЭСьЪй эФДыбЬъ╖╕ыЮиьЧР ьаБэХйэХЬ ьД╝ьДЬые╝ ьДаэГЭэХШыКФ ыН░ эХДьИШьаБьЮЕыЛИыЛд.. ьаХэЩХыПДьЩА ъ░ЩьЭА ьЪФьЖМые╝ ъ│аыадэХиьЬ╝ыбЬьНи, эЩШъ▓╜ ьб░ъ▒┤, ъ╖╕ыжмъ│а ьЭСьЪй эФДыбЬъ╖╕ыЮи ьЬаэШХ, ьВмьЪйьЮРыКФ ьЛЬьКдэЕЬьЧРьДЬ ь╡ЬьаБьЭШ ьД▒ыКеъ│╝ ьЛаыв░ьД▒ьЭД ы│┤ьЮе эХа ьИШ ьЮИьК╡ыЛИыЛд..
ьЛдэЦЙ ъ░АыКеэХЬ ьб░ьЦ╕
ъ╖АэХШьЭШ эХДьЪФые╝ эПЙъ░АэХШьЛньЛЬьШд: ьЭСьЪй эФДыбЬъ╖╕ыЮиьЭШ ьХХыае ы▓ФьЬД ы░П эЩШъ▓╜ ьб░ъ▒┤ьЭД ъ▓░ьаХэХШьЛньЛЬьШд..
ьШмы░Фые╕ ьД╝ьДЬ ьЬаэШХьЭД ьДаэГЭэХШьЛньЛЬьШд: ьЭСьЪй эФДыбЬъ╖╕ыЮиьЭШ ьЪФъ╡м ьВмэХньЧР ыФ░ыЭ╝ ьХХьаДьД▒ ы░П ьХХьаДьЭД ъ▓░ьаХэХШьЛньЛЬьШд..
ъ╡РьаХьЭД ъ│аыадэХШьЛньЛЬьШд: ьаХэЩХэХЬ ь╕бьаХьЭД ьЬДэХ┤ ьД╝ьДЬъ░А ьШмы░Фые┤ъ▓М ы│┤ьаХыРШыПДыбЭэХШьЛньЛЬьШд.
ьЭ┤ыЯмэХЬ ыЛиъ│Дые╝ ьИШэЦЙэХШъ│а ьХХыае ьД╝ьДЬьЭШ ьЫРыжмые╝ ьЭ┤эХ┤эХиьЬ╝ыбЬьНи, эЪиъ│╝ьаБьЬ╝ыбЬ эФДыбЬьаЭэК╕ьЧР эЖ╡эХйэХШъ│а ьЛаыв░эХа ьИШьЮИыКФ ъ▓░ъ│╝ые╝ ьЦ╗ьЭД ьИШ ьЮИьК╡ыЛИыЛд..
ьЬДьЭШ ьЖМъ░ЬыКФ ьХХыае ьД╝ьДЬ ъ╕░ьИаьЭШ ьаБьЪй эСЬый┤ ызМ ъ╕БыКФ ъ▓ГызМ. ыЛдьЦСэХЬ ьаЬэТИьЧР ьВмьЪйыРШыКФ ыЛдьЦСэХЬ ьЬаэШХьЭШ ьД╝ьДЬ ьЪФьЖМые╝ ъ│ДьЖН эГРьГЙ эХа ъ▓ГьЮЕыЛИыЛд., ъ╖╕ыУдьЭ┤ ьЦ┤ыЦ╗ъ▓М ьЭ╝эХШыКФьзА, ъ╖╕ыжмъ│а ъ╖╕ыУдьЭШ ьЮеьаРъ│╝ ыЛиьаР. ьЧмъ╕░ьЧРьДЬ ыЕ╝ьЭШ ыРЬ ыВ┤ьЪйьЧР ыМАэХЬ ьЮРьД╕эХЬ ыВ┤ьЪйьЭД ьЫРэХЬыЛдый┤, ьЭ┤ ьХИыВ┤ьДЬьЭШ ыТ╖ы╢Аы╢ДьЧРьДЬ ъ┤Аыаи ь╜ШэЕРь╕аые╝ эЩХьЭ╕эХа ьИШ ьЮИьК╡ыЛИыЛд.. ьЛЬъ░ДьЭ┤ ъ▒╕ыжмый┤, ьЭ┤ ъ░АьЭ┤ыУЬьЭШ ьД╕ы╢А ьВмэХньЭД ыЛдьЪ┤ыбЬыУЬэХШыадый┤ ьЧмъ╕░ые╝ эБ┤ыжнэХШьЛньЛЬьШд. ъ│╡ъ╕░ ьХХыае ьД╝ьДЬ ьаЬэТИ PDF ыН░ьЭ┤эД░.
ыЛдые╕ ьД╝ьДЬ ъ╕░ьИаьЧР ыМАэХЬ ьЮРьД╕эХЬ ыВ┤ьЪй, ьаЬы░Ь ьД╝ьДЬ эОШьЭ┤ьзАые╝ ы░йым╕эХШьЛньЛЬьШд.
