Сіздің дәлдігіңізді төмендететін ескерілмеген MEMS қысым сенсорлары пакетінің кернеуі
Пакеттен туындаған қалдық кернеу кремний пьезорезистивті MEMS қысым датчиктеріндегі нөлдік дрейфтің, температура қатесінің және ұзақ мерзімді тұрақсыздықтың негізгі көзі болып табылады. Бұл мақалада термиялық кеңею сәйкессіздігі, бекіту материалдары, емдеу процестері және қаптама құрылымдары кернеуді сезгіш мембранаға қалай тасымалдайтынын түсіндіреді.











