カタログ
WF1525 シリーズは、5kPa、7kPa、10kPa の範囲を持つ低圧力差動 MEMS センサーです。このデバイスは 3D ダイヤフラム構造と定電流駆動 (推奨 1.5mA) を採用しており、-10°C ~ 60°C の完全なオンチップ温度補償を実装しています。レーザートリミングにより、静的ゼロ点と補正されたゼロ点がロックされます。外付け抵抗と差動アンプにより、正確なスパン校正が可能です。パッケージはDIPショートチューブタイプで、医療機器、人工呼吸器、HVACなどに適しています。添付の画像は、WF1525 パッケージと一致するデュアルポート短管 DIP の外観を示しています。
1 デザインと範囲のマッチング
WF1525 は、感度と直線性を向上させるために 3 次元ダイヤフラム構造を使用しており、5kPa、7kPa、10kPa の 3 つの小さなフルスケール範囲用に特別に設計されています。このデバイスは差動タイプで、標準的な測定範囲は -5kPa ~ +5kPa です。設計中に、機械的応力、パッケージ応力、および熱膨張の影響がプロセスおよび構造制御によって最適化され、非線形性とゼロドリフトが低減され、定格範囲内で安定した出力が保証され、既存の測定チャネルへの直接交換または統合が容易になります。

2 温度補償機構
WF1525 のチップレベルの温度補償は、-10°C ~ 60°C をカバーします。工場出荷時の校正と内部補償ネットワークを組み合わせて、温度による感度とゼロドリフトを低減します。補償パラメータは校正テーブルに書き込まれるか、内蔵抵抗ネットワークを介して実装されます。外部差動アンプと併用すると、指定された温度帯域内で最適な直線性と誤差制御が実現され、複雑な周囲温度の変化下でも使用可能で校正可能な信号が得られます。
3 レーザートリミングとゼロキャリブレーション
製造中、レーザートリミングは静的ゼロおよび補償ゼロ校正に使用され、抵抗または微細構造を正確に調整してゼロオフセットを修正します。レーザー トリミングでは、繰り返し可能な細かい修正が可能で、従来のトリミング方法よりも安定しています。出荷時の定電流ドライブ校正ワークフローと組み合わせることで、ゼロとスパンが目標精度内に確実にロックされ、生産の一貫性と長期安定性が向上します。
4 定電流駆動と外部スパン校正
WF1525は1.5mAの定電流駆動を推奨しています。定電流駆動によりセンサー出力が安定し、電源変動による誤差が軽減されます。定電流駆動アーキテクチャのため、この製品には並列抵抗と外部差動アンプが必要です。システムレベルでは、外部抵抗とアンプのゲインを調整することでスパン校正が実現され、ゼロ安定性と高い直線性を維持しながら、多様な信号処理とインターフェースのニーズに対応します。
5 パッケージング、ポート、および信頼性
すべての WF1525 バリアントは、簡単な取り付けと強力なインターフェイス互換性のために、ショート チューブ ポートを備えたデュアル インライン (DIP) パッケージを使用しています。デバイスの定格動作温度は -40°C ~ +85°C ですが、最適な精度と直線性は -10°C ~ 60°C の補償範囲内で実現されます。パッケージ設計は、熱経路と応力隔離のバランスをとり、ダイアフラムへの外部応力を最小限に抑えます。製造テストには、産業グレードの信頼性と一貫性を保証するためのドリフトおよび静的ゼロ検証が含まれます。
結論
WF1525 は、3D ダイヤフラム感度、チップレベルの温度補償、レーザー トリミング、および定電流駆動を組み合わせたソリューションに統合し、再現性と校正可能な低圧測定を実現します。このデバイスは、工場での正確な補正とシステムレベルの外部校正により、実際のアプリケーションでゼロ安定性と測定精度を維持し、医療機器、人工呼吸器、HVAC、流量および液面レベルの測定、および温度の堅牢性とゼロ点の一貫性に対する厳しい要件があるその他のシナリオに適しています。
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