Progrès des capteurs de pression MEMS à haute performance: conception, fabrication, et emballage
Systèmes microélectromécaniques (Mems) Les capteurs de pression sont largement utilisés dans une variété d'industries, y compris l'automobile, aérospatial et médical, et sont devenus des appareils importants pour l'ingénierie moderne en raison de leur grande précision et de leur petite taille. Au cours des dernières années, Les capteurs de pression ont fait des progrès importants dans la conception, technologies de fabrication et d'emballage, Et leurs performances ont été considérablement améliorées. Dans ce document, Nous discuterons des dernières tendances des micro-capteurs de pression différentielle (MDPS), capteurs de pression résonnante (RPS), puces de détection intégrées, et capteurs de pression miniaturisés.