Microsensor de presión con compensación de temperatura: logre alta precisión y estabilidad
Esta pieza analiza un sensor de micropresión MEMS autocompensante de temperatura basado en un diseño acoplado de haz de isla y membrana, y explica cómo la estructura cancela activamente la deriva de salida causada por el estrés térmico. Fabricado con procesamiento de precisión SOI y DRIE dual, el dispositivo muestra una deriva de temperatura muy baja entre 0 °C y 50 °C (deriva del punto cero 0,081 % FS, deriva de rango completo 0,090 % FS, no linealidad 0,307 % FS), ofreciendo una opción de detección de micropresión de baja potencia y alta precisión.



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