Der übersehene MEMS-Drucksensoren-Paketstress, der Ihre Genauigkeit beeinträchtigt
Gehäusebedingte Restspannungen sind eine Hauptursache für Nullpunktdrift, Temperaturfehler und Langzeitinstabilität in piezoresistiven MEMS-Drucksensoren aus Silizium. In diesem Artikel wird erläutert, wie Fehlanpassungen bei der Wärmeausdehnung, Die-Attach-Materialien, Aushärteprozesse und Gehäusestrukturen Spannungen auf die Sensormembran übertragen.











